在氮化特別是氮碳共滲后，滲層的化合物層出現細小分布的微孔或者孔洞，這些孔洞或微孔，在金相顯微鏡下可直接從未經腐蝕的氮化層金相試片上觀察到。由于微孔的大小、數量和分布的不同，對性能的影響也不同。《鋼鐵零件滲氮層深度測定和金相組織檢驗》標準（GB11354－89）中主要根據表面化合物層內微孔的形狀、數量和密集程度將疏松分為5級。如表1所示。一般零件經滲氮后，表面疏松允許到3級，4和5級不合格。因為4、5級具有較大的脆性，易起皮剝落。

表1   滲氮層疏松級別
級別 滲氮層疏松級別說明
1 化合物層致密，表面無微孔
2 化合物層致密，表面有少量細點狀微孔
3 化合物層微孔密集成點狀孔隙，由表面及里逐漸減少
4 微孔占化合物層2/3以上，部分微孔聚集分布
5 微孔占化合物層3/4以上，部分呈孔洞密集分布

化合物層疏松多發生在氮碳共滲或高氮熱長時間氣體滲氮的情況下。

試驗證明，液體氮碳共滲時，由于氮勢高，滲速快，特別是新配的鹽浴開始使用時，疏松較為嚴重。隨著使用時間的延長，氮熱的降低，疏松程度相應降低。生產實際中發現，化合物層中的疏松與鹽浴內生成的亞鐵氰酸鹽（Na、[Fe（CN）6]）有關，且疏松隨著鹽浴內所產生的亞鐵氰酸鹽含量的增大而增加。

氣體氮碳共滲的化合物層疏松，是由于亞穩定的高氮相在氮化過程中發生分解，析出氮分子而留下氣孔。生產實踐發現，疏松層的形成與不同爐氣成分的混合比和處理溫度有關。當爐氣中NH3含量超過某一數值時，開始出現多孔性的表面，隨著爐氣中NH3含量的繼續增加，疏松程度就越嚴重。隨著處理溫度的提高，NH3分解率變化，氮勢提高，表面疏松程度增加。

氣體滲氮時，化合物層出現疏松與氨氣純度、滲層中平均氮濃度有關。如氨氣中含有水分，滲層中氮濃度過高，均易產生疏松。

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